国内布局光刻胶厂商有南大光电、上海新阳、晶瑞股份、徐州博康等。南大光电国产光刻胶传来进展，该公司表示：“目前ArF光刻胶产品通过1家存储芯片制造商和逻辑芯片制造企业的验证。
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